適用于無(wú)機化學(xué)分析(ICP、ICP-MS)的超純水純化方法

ICP、ICP-MS幾乎可以有效的分析所有元素，因此被廣泛的使用于半導體產(chǎn)業(yè)、核工領(lǐng)域，以及環(huán)境樣品的元素分析。尤其是 ICP-MS，由于可以進(jìn)行極微量的金屬分析，因此所使用的超純水，其金屬是要去除到極限的。
  超純水系統的純化方法中，用來(lái)去除離子的是離子交換樹(shù)脂，因此維持樹(shù)脂的交換能力是很重要的。離子交換樹(shù)脂除了會(huì )因為官能基飽和而降低去除能力外，樹(shù)脂表面也會(huì )發(fā)生有機物質(zhì)與微生物的附著(zhù)，所以在離子交換樹(shù)脂的前段處理程序中，最好使用紫外線(xiàn)燈來(lái)氧化分解有機物質(zhì)，以防止樹(shù)脂被污染。此外，為了盡早發(fā)覺(jué)樹(shù)脂的劣化，所以可以在前段的離子交換管匣之后裝上比阻抗計，以偵測水質(zhì)的變化（圖１）。這種超純水系統的組合，對水中所含元素的偵測靈敏度可達 ppt 級。
  影響 ICP-MS 分析的因素中，包含容器的清凈度與溶出 (extraction) 問(wèn)題。當我們進(jìn)行極微量的無(wú)機離子分析時(shí)，必須使用高純凈度以及不易溶出金屬離子的容器。關(guān)于其它的技術(shù)問(wèn)題，如 Nebulizer 產(chǎn)生氣泡現象，以及 K、Ca 等離子的檢測訊號會(huì )受到 Ar 的影響，可藉去除水中溶解氣體來(lái)解決問(wèn)題。